睿励科学仪器(上海)有限公司

公司名称:睿励科学仪器(上海)有限公司
英文名称:Raintree Scientific Instruments (Shanghai) Corporation
所属地区:上海市厂商类型:设备厂商
公司网站:http://www.rsicsh.com
数据提供:上海集成电路行业协会提供

公司简介

睿励科学仪器(上海)有限公司是于2005年创建的合资公司,致力于开发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。公司的产品填补国家重大产业链中的重要空白,自列入了2005年上海市科教兴市重大产业科技攻关项目起,,得到了政府和业界的大力支持和高度关注。公司将通过不断吸收和培养人才,建立和发展业界一流的具有自主创新能力的企业和团队,达到并持续保持在国际及国内相应产业和市场的领先地位。

光学测量设备:TFX3000--300mm全自动光学膜厚测量系统(12英寸全自动精密薄膜线宽测量系统)

光学关键尺寸分析系统:光学关键尺寸分析系统

镓液态离子源:镓液态离子源生产设备

缺陷检测:FSD100e--专为LED市场开发生产的自动光学检测设备;FSD200µ--自动宏观缺陷检测系统,适用于200mm硅片;FSD300--自动宏观缺陷检测系统,适用于300mm硅片

等离子体灰化:RMEC MIP600/700Plasma Asher系列,可高速剥离光刻胶

附属设备及零部件:Retainer Ring : CMP研磨工艺使用之Retainer Ring ( 8”& 12” IC fab );Heating Jacket, : 控制真空管路,钢瓶,气体管路中温度的加热带系统(IC, LED, LCD, PV..);Local Scrubber : 处理工艺生产的有害气体用的废气处理机(IC, LCD, LED, PV..);Thermo-Wet scrubber:RL-400、RL-800;Dry scrubber: RD200S、RD400D;Wet scrubber: RW600、RW-1000。Dry Pump : 机台真空用的干式螺旋真空帮浦( IC, LCD, LED, PV.. ),型号有 PDf110, PS80-H, PS602-H, PS902-H, PS1302-H, PS1802-A, PS1802-H, PS3003-H可覆盖目前IC FAB 机台使用的Pump所有型号;R-extreme TCU: 高性能变频式冷水机