液化空气集团,全球工业与医疗保健气体、技术和服务领域的领导者。液化空气集团于1916年进入中国,近十年来业务加速发展,目前在中国设有70多家工厂,遍布30多个城市,拥有约4000名员工。液化空气集团在华主要经营范围包括:工业及医用气体的运营,以及其全球工程技术事业部所进行的工程与制造业务(设计、制造和安装空分/制氢装置)。液化空气集团业务已覆盖中国重要的沿海工业区域,并继续向中部、南部和西部地区拓展。
+ 高纯大宗气体(载气):产品包括氮气、氢气、氧气、氩气、氦气以及干燥压缩空气,广泛应用于电子制造,可用于工艺生产亦生成惰性气体保护氛围;同时提供持续气体纯化和在线持续质量控制服务,确保符合极为严苛的气体规格要求。
+ 高纯电子特种气体:供应各类高纯电子特种气体与混合气(包括激态原子激光气KrF, Crf等),用于半导体晶圆、平板显示面板和太阳能电池片制程中(蚀刻、沉积、清洗等工艺)。
+ 设备与安装:提供电子特种气体和化学品的输配系统、超高纯管道、地面监控系统等设备装置的设计、制造和安装的“一站式”解决方案。
+ 全面气体与化学品管理服务:凭借专业的现场服务和多年累积的丰富操作经验,保障客户使用电子特种气体与化学品的安全性、可靠性和持续性。
+ ALOHATM:ALOHATM作为集成电路CVD/ALD工艺制程专用之沉积材料,被微电子业界证明确实有助于改善电子器件性能,从而为客户创造更多价值。